摘要： SPC軟件 主要是用來對(duì)生產(chǎn)過程的工藝參數(shù)進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控與分析,保證最終可以實(shí)現(xiàn)更穩(wěn)定的產(chǎn)品質(zhì)量. 利用SPC對(duì)厚膜混合集成電路 (HIC)的工藝進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控與分析, 對(duì)促進(jìn)厚膜混合集成電路質(zhì)量管理水平的提高和企業(yè)核心競爭力的提升具有非常現(xiàn)實(shí)的意義。

SPC軟件在 HIC工藝中的應(yīng)用主要包括以下四大部分:
• 確定主要工藝技術(shù)參數(shù);
• HTC工藝參數(shù)控制圖的選擇與設(shè)置
• HIC加工過程中的數(shù)據(jù)采集;
• 工藝參數(shù)及質(zhì)量指標(biāo)分析;

下面我們主要介紹利用QSmart SPC系統(tǒng)來對(duì)厚膜混合集成電路 (HIC)的 工藝參數(shù) 進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控與分析的主要步驟:
1. 確定主要工藝技術(shù)參數(shù) ,實(shí)現(xiàn)參數(shù)化控制
    通過對(duì)以往生產(chǎn)過程中使用的控制圖,工藝參數(shù)、技術(shù)條件詳細(xì)調(diào)研的基礎(chǔ)上,結(jié)合 HIC工藝加工特征 ,確定了以下5種直接影響混合集成電路質(zhì)量與可靠性的工藝參數(shù):
• 網(wǎng)印工序的膜厚;
• 粘片工序的元件剪切力;
• 鍵合工序的鍵合拉力;
• 平行縫焊工序的漏氣率;
• 激光調(diào)阻工序的調(diào)阻精度;

確定好HIC的 關(guān)鍵工藝參數(shù) 后,我們就可以直接利用SPC系統(tǒng)來建立其工藝參數(shù)了,如下:

2.HTC工藝參數(shù)控制圖的選擇與設(shè)置
    我們?cè)诶�用SPC來做品質(zhì)監(jiān)控分析時(shí)，控制圖是其中一個(gè)核心的分析工具，而控制圖的種類又有很多種，只有針對(duì)每個(gè)工藝參數(shù)選擇正確的控制圖時(shí)，才能更準(zhǔn)確地對(duì)工藝參數(shù)進(jìn)行分析。根據(jù)HIC各主要工序的工藝特點(diǎn) ,同時(shí)依據(jù) SPC控制圖 的選用標(biāo)準(zhǔn) ,我們確定了 HIC工藝 5種主要工藝技術(shù)參數(shù)對(duì)應(yīng)的控制圖 ,具體使用如下:
• 網(wǎng)印工序的膜厚應(yīng)采用的控制圖：XS均值-標(biāo)準(zhǔn)偏差控制圖；
• 粘片工序的元件剪切力應(yīng)采用的控制圖：回歸控制圖；
• 鍵合工序的鍵合拉力應(yīng)采用的控制圖：XS均值-標(biāo)準(zhǔn)偏差控制圖；
• 平行縫焊工序的漏氣率應(yīng)采用的控制圖：XS均值-標(biāo)準(zhǔn)偏差控制圖；
• 激光調(diào)阻工序的調(diào)阻精度應(yīng)采用的控制圖：回歸控制圖；

如下這個(gè)是XS均值-標(biāo)準(zhǔn)差控制圖的設(shè)置示例：

說明：在控制圖設(shè)置里，可以設(shè)置規(guī)格上下限、樣本容量、上下控制限以及判異規(guī)則設(shè)置等，其中判異規(guī)則，企業(yè)可以根據(jù)企業(yè)產(chǎn)品變異的規(guī)則選擇相應(yīng)的判異標(biāo)準(zhǔn)，或?qū)ζ溥M(jìn)行修改：

3.HIC加工過程中的數(shù)據(jù)采集
    對(duì)于數(shù)據(jù)采集這塊, QSmart SPC系統(tǒng) 支持手工錄入,如果用戶有測(cè)量儀器具有自動(dòng)數(shù)據(jù)采集接口則可以采用自動(dòng)錄入。

4．工藝參數(shù)及質(zhì)量指標(biāo)分析
     SPC系統(tǒng)提供包括 CPK分析 及控制圖在內(nèi)的多類質(zhì)量分析方法，如下這個(gè)是對(duì)厚膜混合集成電路 (HIC)的網(wǎng)印工芳的膜厚進(jìn)行的CPK工序分析圖：

    系統(tǒng)支持生成工序能力等報(bào)表，通過工序能力報(bào)表, 可以讓管理層了解到所有產(chǎn)品各重要品質(zhì)控制項(xiàng)目的CPK等品質(zhì)指標(biāo)數(shù)據(jù)。

    通過 SPC軟件 進(jìn)一步提升了厚膜混合集成電話HIC的產(chǎn)線質(zhì)量管理和工藝控制水平，通過應(yīng)用控制圖對(duì)生產(chǎn)過程的5個(gè)工藝參數(shù)進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控 ,對(duì)生產(chǎn)過程的異常趨勢(shì)提出預(yù)警 ,以便生產(chǎn)管理人員及時(shí)采取措施 ,消除異常 ,恢復(fù)過程的穩(wěn)定 ,達(dá)到提高和控制質(zhì)量的目的。